英福康电容膜片真空计INFICON Stripe CDG045Dhs、CDG100Dhs:
INFICON Stripe CDG045Dhs 0.05 ...1000 乇/毫巴
INFICON Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000 乇/毫巴
INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空仪器。具有低于1毫秒的响应时间,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能,可实现的生产力提升,使其成为同类产品中进的真空仪器。
益处:
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高生产力 - 响应时间快于1毫秒
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灵活集成 - EtherCAT 现场总线
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使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
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再校准间隔期长 - 90ppm/年全方位稳定性
典型应用:
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原子层沉积
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高速过程控制
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PVD、CVD、刻蚀
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一般高温真空应用